擴(kuò)散爐多少錢一臺(tái)?擴(kuò)散爐有哪些廠家?
中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
江西展宇新能源股份有限公司
青島華旗科技有限公司
賽姆柯(蘇州)智能科技有限公司
山東力冠微電子裝備有限公司
擴(kuò)散爐數(shù)據(jù)指標(biāo)
設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。
設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
爐管數(shù)：1～4管
配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
恒溫區(qū)長度：760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
單點(diǎn)穩(wěn)定性：±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計(jì)
懸臂舟參數(shù)：速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 載荷：17 Kg
超凈工作臺(tái)：凈化等級(jí)：100級(jí)(萬級(jí)廠房)
噪音： ≤62dB(A)
振動(dòng)： ≤3μm
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